对液态树脂进行光扫描曝光的方法通常有两种,图(a)所示是一种由计算机控制的X-Y平面扫描仪系统,光源可以经过光纤传送到安装在y轴臂上的聚焦镜中,也可通过一组定位反光镜将光传送到聚焦镜中,并通过计算机控制使聚焦镜在X-Y平面运动,对液态树脂进行扫描曝光。
图(b)所示是一种振镜光扫描系统,它是通过由振摆电机带动的两片反射镜,根据控制系统的指令,按照每一截面轮廓的要求做高速摆动,从而将激光器发出的光束反射并聚焦于液态光敏树脂表面,并沿此面做X-Y方向的扫描运动。激(a) X-Y轴扫描仪方式图2-3 光扫描原理(b)振镜扫描方式。